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全自动半导体硅片甩干机维护事项

返回列表 来源:未知 发布日期:2018-12-24 23:48【
全自动半导体硅片甩干机 维护事项:
 
甩干机8-17
1、按下屏幕右方的OPEN键,使甩干机上盖打开
 
2、切断设备的电源
 
3、用14#扳手把甩盘卸下
 
4、用无尘纸清理腔内碎片
 
5、用百洁布将甩盘下及周围的锈迹清理干净
 
6、用无尘纸沾用酒精将腔内、甩盘及周边清理干净
 
7、用14#扳手将甩盘装到设备上
 
8、检查排废管道是否漏液,如漏液需上紧接头或更换管道 
 
9、水管道是否漏水,如果是请重新上紧或更换水管
 
10、检查氮气压力是否保持在0.4-0.6MPA
 
11、检查控制面板上的各种操作按钮,如有损坏及时更换
 
12、检查及清洁电气原器件,避免造成漏电及局部短路,接触不良
 
13、保证设备可靠接地
 
14、整理现场
 
15、对设备通电,试机
 
 使用中注意事项:不要把工具等落在甩盘内
 
                            电机上的契型带半年需更换一次