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全自动硅片旋转冲洗甩干机

返回列表 来源:未知 发布日期:2018-12-24 23:50【
硅片旋转冲洗甩干机用于清洗太阳能硅片和半导体硅片,是湿法清洗工艺的主要设备,目前主要机型由四工位,六工位和八工位系列。主要工作过程为:喷淋旋转冲洗+离心甩干+氮气加热烘干。
 
【结构特点】
 
1、整个甩干过程一般只需要5-6分钟;
 
2、设备的外露面为进口的PP板,外形美观,耐酸气腐蚀;
 
3、工作腔,旋转支架和装片盒等主要部件采用耐腐蚀不锈钢,并且表面电化学抛光处理;
 
4、旋转机构经过精密动平衡处理,保证工作时的平衡性;
 
5、采用特种减震器,精密减震和阻尼,保证系统的稳定;
 
6、采用洁净化处理技术,阀门,接头和管道采用不锈钢,PEA高纯管件和聚四氟;
 
7、采用油压缸自动开门关门,平稳安全可靠;
 
8、采用油浴炉或气体加热器加热氮气,热量足,温度稳定,加热温度实时监控,并显示在液晶屏上,并有双重安全保护;
 
9、特制喷头和气液流体控制系统,全自动切换;
 
10、顶盖采用电加热板辅助加热,保证顶盖烘干后不滴水;
 
11、工作腔采用静电控制。